Технологическое оборудование
1.1. Установка магнетронного напыления пленок ATC ORION 8 UHV
Производитель: AJA Inc. США
Предназначена: для получения однородных, многослойных и объёмно-гетерогенных пленок металлических, диэлектрических и композиционных, в том числе магнитных, материалов в диапазоне толщин 5-1000 нм.
Основные характеристики:
- 5 независимых магнетронов (2 на постоянном токе, 3 на токе высокой частоты) обеспечивают напыление многослойных и композитных металлических, диэлектрических и магнитных пленок
- Безмасляная система откачки на базе турбомолекуляного насоса, обеспечивающая вакуум не хуже 5×10-7 мм.рт.ст.
- Подложкодержатель с температурой прогрева до 800 °С и с приводом вращения. Имеется сменный подложкодержатель, охлаждаемый жидким азотом
- Три независимые линии подачи газов
- Вакуумный шлюз с безмасляной откачкой
- Система компьютерного управления процессом формирования пленок
Контактное лицо: Лепаловский В.Н., email: vladimir.lepalovsky@urfu.ru
Размещение: отдел магнетизма твёрдых тел НИИ ФПМ, к.276а
1.2. Модернизированные установки ионного высокочастотного распыления УРМ3-013 и УРМ3-014
Предназначены: для получения и термообработки однородных и многослойных металлических, диэлектрических и композиционных плёнок в диапазоне толщин 5-1000 нм.
Основные характеристики:
- Безмасленые система откачки на базе турбомолекуляного насоса, обеспечивающая вакуум не хуже 1×10-6 мм рт. ст.
- Режим высокочастотного ионно-плазменного распыления в присутствии магнитного поля
- Подложкодержатель с температурой прогрева до 600 °С
- Секторная конструкция мишеней
Контактное лицо: Лепаловский В.Н., email: vladimir.lepalovsky@urfu.ru
Размещение: отдел магнетизма твёрдых тел НИИ ФПМ, к.276б
1.3. Устройство индукционного плавления сплавов УЛП
Производитель: ООО «Аверон», Россия
Предназначено: для получения однородных металлических сплавов в защитной газовой среде в термостойких тиглях (корунд, кварц) с последующей закалкой расплава в водо- охлаждаемую изложницу
Основные характеристики:
- Максимальная температура разогрева – 1400 °С
- Масса выплавляемых слитков сплава – 100 г.
- Остаточное давление газов в плавильной камере не выше
5×10-3 мм.рт.ст. - Защитные газовые среды – аргон, гелий
- Манипулятор для выполнения закалки расплава в медную водоохлаждаемую изложницу
- Система контроля за параметрами процесса плавки
Контактное лицо: Андреев С.В.,email: sergey.andreev@urfu.ru
Размещение: центр наукоемких технологий НИИ ФПМ, к.012
1.4. Электропечь сопротивления камерная вакуумная СНВЭ-1.3.1/16
Производитель: ООО «Термотехника», Россия
Предназначена: для осуществления термических процессов в вакууме при температуре до 1600°С. Термические процессы осуществляются по программе с помощью системы автоматического регулирования нагревом, выполненной на базе цифрового микропроцессорного прибора.
Основные характеристики:
- Максимальная температура разогрева – 1600 °С
- Размеры рабочего пространства (ширина/ длина/ высота) – 100/300/100 мм
- Масса садки – 25 кг
- Предельное остаточное давление газов в камере (в холодном состоянии электропечи) – 5×10-5 мм.рт.ст.
- Равномерность температуры в рабочем пространстве электропечи
без загрузки при номинальной температуре ±5 °С - Мощность установленная – 20 кВт
Контактное лицо: Андреев С.В., email: sergey.andreev@urfu.ru
Размещение: Центр наукоемких технологий НИИ ФПМ, к.012
1.5. Установка для получения быстрозакаленных сплавов по методике спиннингования
Производитель: УрГУ им. А.М.Горького
Предназначена: для получения образцов металлических сплавов в форме лент или флейксов путем закалки струи жидкого металла (расплава) на поверхности быстровращающегося массивного металлического барабана
Основные характеристики:
- Максимальная температура разогрева – 1400 °С
- Масса расплава – до 40 г.
- Давление остаточных газов в разливочной камере не выше
5×10-3 мм.рт.ст. - Защитные газовые среды – аргон, гелий
- Манипулятор для сканирования струи расплава по поверхности барабана
- Система контроля за параметрами процесса нагрева и спиннингования
Контактное лицо: Андреев С.В., email: sergey.andreev@urfu.ru
Размещение: Центр наукоемких технологий НИИ ФПМ, к.012
1.6. Аддитивная система селективного лазерного плавления Creator RA
Производитель: Coherent, Германия
Предназначена: для единичного и мелкосерийного производства сложных изделий из специальных металлических порошков. Работает со многими металлами и сплавами. Также используется при отработке режимов сплавления (НИР) с целью получения оптимальных физико-механических свойств изделий.
Основные характеристики:
- Практическая толщина слоя 20-100 мкм
- Минимальная толщина стенки 80 мкм
- Скорость сканирования до 6 м/с
- Современное программное обеспечение, позволяющее работать с любыми CAD-данными
- Система рециркуляции инертного газа (ламинарный поток) при построении изделий, безопасная структура фильтров, обеспечивающих удаление из камеры построения побочных продуктов плавления.
Контактное лицо: Мальцева В.Е., email: viktoria.maltseva@urfu.ru
Размещение: кафедра магнетизма и магнитных наноматериалов, к.169
1.7. 3D принтер по металлу «3DLAM Mini PRO»
Производитель: ООО «3ДЛАМ ИНДАСТРИАЛ», Россия
Предназначен: для послойное селективного лазерного сплавления металлического порошка под воздействием лазера.
Основные характеристики:
- Волоконный лазер IPG Photonics мощностью 300 Вт
- Скорость сканирования до 10 м/с
- Минимальный диаметр лазерного пучка на поверхности построения - 50 мкм
- Толщина наносимого слоя металлокерамической композиции 20-100 мкм
- Диаметр платформы построения - 110 мм
- Используемые типы защитного газа: аргон, гелий, азот
- Обладает системой рециркуляции защитного газа в рабочем режиме.
Контактное лицо: Шалагинов А.Н., email: Arkady.shalaginov@urfu.ru
Размещение: кафедра магнетизма и магнитных наноматериалов, к.169а
Аналитическое оборудование
2.1. Стилусный профилометр Dektak 150
Производитель: Veeco Instruments Inc., США
Предназначен: для автоматического определения профиля поверхности твёрдых объектов контактным способом.
Основные характеристики:
- Разрешение по вертикали -1 Å
- Повторяемость измерений– 6 Å
- Стилус с радиусом закругления 12,5 mm
- Акустический колпак, антивибрационный стол
Контактное лицо: Лепаловский В.Н.,email: vladimir.lepalovsky@urfu.ru
Размещение: кафедра магнетизма и магнитных наноматериалов, к.158
2.2. Рентгеновский флуресцентный спектрометр на полном отражении Nanohunter
Производитель: Rigaku Corporation, Япония
Назначение прибора:
- Неразрушающий элементный анализ тонких поверхностных слоёв твёрдых материалов;
- Неразрушающий элементный анализ порошков и керамик
- Анализ профиля состава тонких пленок по толщине
- Элементный анализ высушенных растворов (разрушающий анализ)
Прибор может эффективно использоваться для научных исследований в области материаловедения, при проверке качества изделий микроэлектроники, для контроля примесного состава продуктов, для судебной экспертизы и для многих других целей.
Основные характеристики:
- Источники первичного излучения рентгеновские трубки Mo и Cu мощностью 0,05 кВт
- Регистрируемые элементы от Al до U
- Чувствительность – 10-7 вес.%
- Угол падения первичного излучения варьируется в пределах 0–2°
- Разрешение углового сканирования – 0,01°
- Глубина проникновения излучения до 500 нм
- Измерения выполняются в воздушной среде
- Максимальные размеры образцов 100x100х5 мм.
Контактное лицо: Фещенко А.А., email: a.a.feshchenko@urfu.ru
Размещение: отдел магнетизма твёрдых тел НИИ ФПМ, к.009
2.3. Оптический микроскоп Olympus
Производитель: OLYMPUS Corporation, Япония
Предназначен: для наблюдения малых объектов в проходящем и отражённом свете
Основные характеристики:
- Система сменных объективов, обеспечивающих увеличение до 600
- Оснащён цифровой видеокамерой
Контактное лицо: Памятных Л.А., email: Lidia.Pamyatnykh@urfu.ru
Размещение: кафедра магнетизма и магнитных наноматериалов, к.360
2.4. Магнитооптический Керр-микроскоп
Производитель: Evico magnetics GmbH, Германия
Предназначен: для наблюдения магнитной доменной структуры с использование полярного, меридионального и экваториального эффектов Керра, а также для автоматического измерения магнитооптических петель гистерезиса
Основные характеристики:
- создан на основе поляризационного микроскопа Carl Zeiss высокого разрешения с линейными размерами области наблюдения 0.1-5 мм;
- включает дополнительный обзорный поляризационный микроскоп с линейными размерами области наблюдения 8 - 30 мм;
- источник света – 8 высокостабильных светодиодов с высокой интенсивностью излучения (λ ~ 450 нм)
- малошумящая цифровая фотокамера с принудительным охлаждением (пр. охл.: -35оС) и разрешением 1344 x 1024 пкс.;
- опция горизонтального магнитного поля (0.1 - 1300 мТ; пр. охл.);
- опция вертикального магнитного поля (≤900 мТ; пр. охл.);
- опция наблюдения локальных свойств плёнок на подложках диаметром до 76 мм.
Контактное лицо: Горьковенко А.Н., email: a.n.gorkovenko@urfu.ru
Размещение: кафедра магнетизма и магнитных наноматериалов, к.373
2.5. Атомно-силовой микроскоп Ntegra Prima с модулем температурного контроля и модулем для работы во внешних магнитных полях
Производитель: НТ-МДТ Спектрум Инструментс, Россия
Предназначена: Исследование рельефа поверхности методами атомно-силовой микроскопии, а также исследование доменной структуры методами магнито-силовой микроскопии.
Основные характеристики:
- Максимальный диапазон сканирования 100×100×10 мкм
- Измерения в продольном магнитном поле напряженностью до 2 T
- Измерение в поперечном магнитном поле напряженностью до 1 Т
- Термостолик с возможностью нагрева образца до 150 °С.
Контактное лицо: Москалев М.Е., email: Mikhail.Moskalev@urfu.ru
Размещение: Куйбышева 48, к.009
2.6. Просвечивающий электронный микроскоп JEOL 2100
Производитель: JEOL, Япония
Предназначена: Исследование микроструктуры объектов методами просвечивающей электронной микроскопии.
Основные характеристики:
- Ускоряющее напряжение 200 кВ
- Увеличение x50-x1 200 000
- Рентгеновский микроанализ (EDS)
- Модуль сканирования в режимах обратно рассеянных электронов и вторичных электронов.
Контактное лицо: Горьковенко А.Н., email: a.n.gorkovenko@urfu.ru
Размещение: Куйбышева 48, к.001
2.7. Просвечивающий низковольтный электронный микроскоп LVEM 5 c разгонным напряжением 5 кВ
Предназначена: Проведение исследовании микроструктуры образцов методами просвечивающей и сканирующей электронной микроскопии.
Основные характеристики:
- Ускоряющее напряжение 5 кВ
- Полевой эмиссионный катод Шоттки
- Увеличение от x2200 до x230 000 в режиме ПЭМ, до x100 000 в режиме СЭМ.
Контактное лицо: Горьковенко А.Н., email: a.n.gorkovenko@urfu.ru
Размещение: Куйбышева 48, к.009
Измерительное оборудование
3.1. СКВИД-магнитометр MPMS XL7
Производитель: Quantum Design Inc., США
Предназначен: для проведения в автоматическом режиме в широких диапазонах температур и магнитных полей на различных объектах следующих измерений:
- Зависимостей намагниченности от напряжённости магнитного поля
- Температурных зависимостей намагниченности в постоянном магнитном поле
- Комплексной магнитной восприимчивости в переменном магнитном поле
Основные характеристики:
- Интервал магнитных полей не уже ± 7 Тл
- Однородность поля в рабочем объеме ± 2 см не хуже 0,01 %
- Стабильность магнитного поля не хуже 10-6/час
- Интервал рабочих температур не уже 1,9 ¸ 700 K
- Чувствительность при измерениях магнитного момента не хуже
10-8 Гс.см3 (emu) - Максимальная величина измеряемого магнитного момента не менее 5 Гс.см3 (emu)
- Чувствительность при измерениях магнитной восприимчивости в переменном магнитном поле не хуже 10-8 Гс.см3 (emu)
- Интервал частот переменного магнитного поля не уже 0,01 ¸ 500 Гц
- Интервал амплитуд переменного магнитного поля не уже 0,01 ¸ 5 Гс
- Нестабильность температуры около образца не выше ± 0,005 К
- Погрешность в установке температуры не более 0,5 %
- Диапазон скоростей изменения температуры не уже 0.1¸10 К/мин
- Обеспечивается быстрая смена образца при любой температуре в рабочем диапазоне
- Предусмотрена возможность контролируемого перевода сверхпроводящего соленоида в нормальное состояние
- Обеспечивается возможность снижения остаточного магнитного поля соленоида до значений не более 0,05 Гс.
Контактное лицо: Степанова Е.А., email: elena.stepanova@urfu.ru
Размещение: кафедра магнетизма и магнитных наноматериалов, к.169
3.2. Измерительный комплекс РРМS DynaCool 9T
Производитель: Quantum Design Inc., США
Измерительный комплекс оборудован модулями: Electrical Transport Option (ETO) – опция исследования электротранспортных свойств, Heat Capacity Option (HC) – опция измерения теплоемкости, Vibrating Sample Magnetometer (VSM) – вибрационный магнитометр.
Основные характеристики:
- Диапазон установки температуры от 1,8 до 400 K
- Индукция магнитного поля в центре сверхпроводящего соленоида от – 9 до + 9 Тл
- диапазон измерений электрического сопротивления от 10-8 до 5 ∙ 106 Ом
- Диапазон варьирования частоты переменного электрического тока при измерении электротранспортных свойств от 0,1 до 200 Гц
- Амплитуда переменного и постоянного тока при измерении электротранспортных свойств от 10-8 до 10-1 А
- Диапазон измерения магнитного момента от 10-7 до 100 A·м2/кг
- Диапазон температур при измерении магнитного момента 1,8 до 1000 K
Контактное лицо: Волегов А.С., email: alexey.volegov@urfu.ru
Размещение: кафедра магнетизма и магнитных наноматериалов, к.169
3.3. Вибрационный магнитометр 7407 VSM
Производитель: Lake Shore Cryotronics, США
Предназначен: для измерения магнитного момента объёмных и плёночных образцов
Основные характеристики:
- Чувствительность –10-7 emu
- Величины измеряемого магнитного момента от 10-7 до 1000 emu
- Диапазон температур 4,2-1300 К
- Напряжённость магнитного поля до 23 кЭ;
- Предусмотрено вращение образца
- Оснащён откачной системой и катушками Гельмгольца.
- Имеет опцию измерения электросопротивления
Контактное лицо: Балымов К.Г., email: k.g.balymov@urfu.ru
Размещение: отдел магнетизма твёрдых тел НИИ ФПМ, к.285
3.4. Вибрационный магнитометр
Производитель: УрГУ им. А.М.Горького
Предназначен: для измерения магнитного момента плёночных образцов при комнатной температуре в зависимости от напряжённости магнитного поля
Основные характеристики:
- Чувствительность – 10-4 emu
- Диапазон измеряемых магнитных моментов от 10-3 до 10 emu
- Напряжённость магнитного поля до 15 кЭ
Контактное лицо: Горьковенко А.Н., email: a.n.gorkovenko@urfu.ru
Размещение: кафедра магнетизма и магнитных наноматериалов, к.373
3.5. Установка для измерений магнитосопротивления EPMD-2
Производитель: УрГУ им. А.М.Горького
Предназначена: для измерения зависимостей электрического сопротивления плёночных образцов от напряжённости магнитного поля при комнатной температуре.
Основные характеристики:
- Реализованы двухзондовый и четырёхзондовый методы измерений
- Диапазон измеряемых значений электросопротивления от 0,1 до 1000 Ом
- Напряжённость двуполярного магнитного поля до 100 Э
- Позволяет проводить испытания магниторезистивных сенсоров
Контактное лицо: Кудюков Е.В., email: e.v.kudyukov@urfu.ru
Размещение: кафедра магнетизма и магнитных наноматериалов, к.158
3.6. Анализатор импеданса Agilent HP E 4991 A
Производитель: Agilent Technologies, США
Предназначен: для прецизионного измерения полного электросопротивления элементов электрических цепей в широком интервале частот протекающего тока
Основные характеристики:
- Измеряемые параметры – |Z|, |Y|, Ls, Lp, Cs, Cp, Rs(R), Rp, X, G, B, D, Q, θz, θy, |Γ|, Γx, Γy, θγ
- Диапазон измеряемых значений модуля импеданса от 200 мОм до 20 кОм
- Погрешность измерения импеданса: +/- 0.8%
- Частота зондирующего тока от 1 МГц до 3 ГГц.
- Разрешение по частоте зондирующего тока – 1 мГц.
Контактное лицо: Пасынкова А.А., email: anna.chlenova@urfu.ru
Размещение: кафедра магнетизма и магнитных наноматериалов, к.269б
3.7. Аналитические весы МЕ 235S
Производитель: Sartorius, Германия
Предназначены: для лабораторных исследованиях при высоких требованиях к точности и надёжности измерений, большом потоке измерений, для организации весовых рабочих мест; могут использоваться в рамках системы обеспечения качества
Основные характеристики:
- Предел взвешивания – 230 г
- Цена деления – 10-5 г
- Класс точности - 1
- Калибровка автоматическая
- Графический дисплей с подсветкой и текстовые подсказки оператору
- Функция калибровки и юстировки isoCAL
- Протоколирование в соответствии со стандартами ISO|GLP и возможность конфигурации протокола
- Буквенно-цифровая идентификация образцов
- Износостойкая клавиатура со специальным покрытием
- Интерфейс связи Sartorius RS232 и второй интерфейс для принтера
Контактное лицо: Степанова Е.А., email: elena.stepanova@urfu.ru
Размещение: кафедра магнетизма и магнитных наноматериалов, к.169,в
3.8. Установка для измерения электромагнитных параметров магнитомягких материалов УКМП 0,05-100
Производитель: НИИ СТТ (завод «Эдельвейс»)
Предназначена:для измерения магнитных и электрических характеристик магнитопроводов из магнитомягких материалов; обеспечивается автоматическое измерение и расчет параметров магнитопровода.
Основные характеристики:
- Диапазон частот перемагничивания 0,05-100 кГц
- Высокая точность измерений
- Измерение динамических магнитных характеристик согласно нормативно-технической документации
- Специальное программное обеспечение для автоматического измерения параметров магнитопровода
- Ведение базы данных измерений и формирование отчетов
Контактное лицо: Катаев В.А., email: vakataev@urfu.ru
Размещение: кафедра магнетизма и магнитных наноматериалов, к.376
3.9.Комплекс Измерительно-вычислительный ММКС-05
Производитель: НИИ СТТ (завод «Эдельвейс»)
Предназначен: для определения статических магнитных характеристик образцов/сердечников, изготовленных из магнитомягких материалов (аморфных сплавов, прецизионных сплавов, электротехнических сталей)
Основные характеристики:
- Схема подключения образца для проведения измерений двухобмоточная;
- Диапазоны задания и измерения амплитуды тока намагничивания, А: ±(0.0005…0.005), ±(0.005…0.05), ±(0.05…0.5), ±(0.5…5.0);
- Погрешность задания и измерения постоянного тока намагничивания в диапазоне от 0,00015 до 5 А не более ±0,2 %;
- Диапазоны измерения магнитного потока: ±(1...10) мкВБ, ±(10...100) мкВб, ±(100...1000) мкВб, ±(1...10) мВб, ±(10...100) мВб;
- Относительная погрешность измерения магнитного потока на всех диапазонах, кроме 10 мкВб, не более ±0,5%, на диапазоне 10 мкВб не более ±1,0 %;
- Напряжение питающей сети 220±22 В;
- Частота питающей сети 50±0,5 Гц;
Контактное лицо: Катаев В.А., email: vakataev@urfu.ru
Размещение: кафедра магнетизма и магнитных наноматериалов, к.376
3.10. Автоматизированная установка для измерения магнитокалорического эффекта «MagEqMMS»
Производитель: ООО «Перспективные технологии и консультации», Россия, г. Москва
Предназначена: для измерения прямым методом адиабатического изменения температуры, индуцируемого изменением магнитного поля, а так же теплоемкости в различных магнитных полях
Основные характеристики:
- рабочий диапазон температур – от 110 до 360 K;
- диапазон магнитных полей – от 0.018 до 1.755 Тл;
- скорость изменения магнитного поля – от 0.25 до 4.7 Тл/сек;
- погрешность измерения адиабатического
изменения температуры – 0.1 K; - относительная погрешность измерения теплоемкости – 3%;
Контактное лицо: Зинин А.В., email: Zinin@urfu.ru
Размещение: отдел магнетизма твёрдых тел НИИ ФПМ, к.375в
3.11. Измеритель свойств постоянных магнитов Permagraf-L
Производитель: Magnet Physik, Германия
Предназначен: для измерения магнитных гистерезисных характеристик магнитотвердых материалов в диапазоне температур 293 – 473 °С
Основные характеристики:
- Напряженность магнитного поля до 32 кЭ
- Нагрев образца до 200 °С..
- Комплект компенсированных измерительных катушек для измерения свойств цилиндрических образцов диаметром от 5 до 40 мм
- Комплект калибровочных сертифицированных образцов
- Референсный образец магнитотвердого материала
Контактное лицо:Семкин М.А., email: m.a.semkin@urfu.ru
Размещение: отдел магнетизма твёрдых тел НИИ ФПМ, к.012